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发明名称 Prüfsondenkartenhalterung
摘要
申请公布号 DE3931305(C2) 申请公布日期 1995.06.29
申请号 DE19893931305 申请日期 1989.09.20
申请人 ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC., PORTLAND, OREG., US 发明人 CLARRIDGE, GLENN E., PORTLAND, OREG., US
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66;H01L27/01;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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