Bogenentladungsverdampfer mit mehreren Verdampfertiegeln.,申请号DE19905009139-传众专利搜索

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发明名称	Bogenentladungsverdampfer mit mehreren Verdampfertiegeln.
摘要
申请公布号	DE59009139(D1)	申请公布日期	1995.06.29
申请号	DE19905009139	申请日期	1990.06.26
申请人	VTD-VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH, 01257 DRESDEN, DE	发明人	LUNOW, THOMAS, O-8045 DRESDEN, DE;MENZEL, HORST, O-8028 DRESDEN, DE;PAETZELT, PETER, O-8045 DRESDEN, DE;WILBERG, RUEDIGER, DIPL.-ING., O-8019 DRESDEN, DE;WINKLER, ROLF, O-8021 DRESDEN, DE
分类号	C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/32;C23C14/06	主分类号	C23C14/24
代理机构		代理人
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