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发明名称
Impedanz-angepasste vertikalen leiter in einem Metall-Dielektrikum-Mehrschichtsubstrat.
摘要
申请公布号
DE69019713(D1)
申请公布日期
1995.06.29
申请号
DE1990619713
申请日期
1990.12.08
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
CHANCE, DUDLEY AUGUSTUS, NEWTON, CONNECTICUT 06470, US
分类号
H05K3/46;H01L23/12;H01L23/538;H01L23/64;H05K1/00;H05K1/02;H05K1/11;(IPC1-7):H01L23/64;H01L23/66
主分类号
H05K3/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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