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发明名称 GAS DISCHARGE LAMP AND METHOD FOR MANUFACTURING AND OPERATING GAS DISCHARGE LAMP
摘要
申请公布号 HUT68508(A) 申请公布日期 1995.06.28
申请号 HU19940002942 申请日期 1993.04.13
申请人 FUSION SYSTEMS CORP. 发明人 DOLAN,JAMES T.;URY,MICHAEL G.;WOOD,CHALES H.;TURNER,BRIAN;WAYMOUTH,JOHN F.
分类号 H01J61/18;G03F7/20;H01J7/24;H01J9/395;H01J61/02;H01J61/04;H01J61/12;H01J61/20;H01J61/24;H01J61/38;H01J61/52;H01J61/54;H01J61/82;H01J61/88;H01J65/04;(IPC1-7):H01J61/38 主分类号 H01J61/18
代理机构 代理人
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