发明名称 Displacement amplification mechanism using piezoelectric element.
摘要
申请公布号 EP0510698(B1) 申请公布日期 1995.06.28
申请号 EP19920107073 申请日期 1992.04.24
申请人 NEC CORPORATION 发明人 SANO, MITSUNORI, C/O NEC CORPORATION
分类号 H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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