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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0760825(B2) 申请公布日期 1995.06.28
申请号 JP19920331540 申请日期 1992.12.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/285;H01L21/306;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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