| 发明名称 |
PHOSPHORUS ALLOYED CUBIC BORON NITRIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07165491(A) |
申请公布日期 |
1995.06.27 |
| 申请号 |
JP19920090088 |
申请日期 |
1992.03.17 |
| 申请人 |
GENERAL MOTORS CORP <GM> |
发明人 |
GEERII RIN DOORU;KEBIN SHII BAUKOMU |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/34;C30B23/02;C30B29/38;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/02 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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