PLASMA TREATMENT,申请号JP19940145738-传众专利搜索

发明名称	PLASMA TREATMENT
摘要
申请公布号	JPH07166359(A)	申请公布日期	1995.06.27
申请号	JP19940145738	申请日期	1994.06.06
申请人	SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD	发明人	INUSHIMA TAKASHI;HIROSE NAOKI;TASHIRO MAMORU;YAMAZAKI SHUNPEI
分类号	C30B29/04;C23C16/06;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/34;C23C16/42;C23C16/50;C23C16/511;(IPC1-7):C23C16/50	主分类号	C30B29/04
代理机构		代理人
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