| 发明名称 |
PRODUCTION OF FERROELECTRIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07165492(A) |
申请公布日期 |
1995.06.27 |
| 申请号 |
JP19930313523 |
申请日期 |
1993.12.14 |
| 申请人 |
MITSUBISHI CHEM CORP |
发明人 |
KUNITOMO HARUO;WATABE YUKIO |
| 分类号 |
C30B23/08;C23C14/08;C23C14/28;C30B29/32;H01L21/314;(IPC1-7):C30B23/08 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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