发明名称 PROCESS OF GENERATION OF ION BEAM
摘要
申请公布号 RU2038643(C1) 申请公布日期 1995.06.27
申请号 SU19925024091 申请日期 1992.01.28
申请人 NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE PREDPRIYATIE "NOVOTEKH" 发明人 SABLEV LEONID P;GRIGOREV SERGEJ N
分类号 H01J27/08;(IPC1-7):H01J27/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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