发明名称 ORGANOSILOXANE OLIGOMER LIQUID AND FORMATION OF COATED ORGANIC GLASS FILM USING THE LIQUID
摘要
申请公布号 JPH07166132(A) 申请公布日期 1995.06.27
申请号 JP19940227589 申请日期 1994.09.22
申请人 HITACHI LTD;HITACHI CHEM CO LTD 发明人 FURUSAWA KENJI;HONMA YOSHIO;SATO NINTEI;SHIMAMURA YASUO;MORISHIMA HIROYUKI;YAMAMOTO YASUHIRO
分类号 B05D7/24;C08G77/06;C09D183/04;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):C09D183/04 主分类号 B05D7/24
代理机构 代理人
主权项
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