发明名称 |
ORGANOSILOXANE OLIGOMER LIQUID AND FORMATION OF COATED ORGANIC GLASS FILM USING THE LIQUID |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07166132(A) |
申请公布日期 |
1995.06.27 |
申请号 |
JP19940227589 |
申请日期 |
1994.09.22 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
FURUSAWA KENJI;HONMA YOSHIO;SATO NINTEI;SHIMAMURA YASUO;MORISHIMA HIROYUKI;YAMAMOTO YASUHIRO |
分类号 |
B05D7/24;C08G77/06;C09D183/04;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):C09D183/04 |
主分类号 |
B05D7/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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