发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH07165488(A) 申请公布日期 1995.06.27
申请号 JP19930310904 申请日期 1993.12.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KUSUKI TOSHIHIRO
分类号 C30B15/10;C30B15/28;C30B27/02;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/10 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
地址