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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07166346(A) 申请公布日期 1995.06.27
申请号 JP19930312133 申请日期 1993.12.13
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 KIYOTA TETSUJI
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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