| 发明名称 |
ELECTRO SPRAY TYPE ION SOURCE AND FOCUSING ION BEAM DEVICE USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07161322(A) |
申请公布日期 |
1995.06.23 |
| 申请号 |
JP19930305162 |
申请日期 |
1993.12.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UMEMURA KAORU;SAKAIRI MINORU |
| 分类号 |
G01N1/28;H01J27/26;H01J37/08;H01J49/10;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
G01N1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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