| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07161849(A) |
申请公布日期 |
1995.06.23 |
| 申请号 |
JP19930307759 |
申请日期 |
1993.12.08 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
OTSUKA TATSUYA |
| 分类号 |
C23F1/24;C23F4/00;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/8247;H01L23/52;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/320;H01L21/321 |
主分类号 |
C23F1/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
