发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07161706(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930306558 申请日期 1993.12.07
申请人 NEC CORP 发明人 KUWATA TAKAAKI
分类号 H01L21/768;H01L21/316;H01L21/3205;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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