发明名称 MANUFACTURE OF ELEMENT ISOLATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07161704(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19940242949 申请日期 1994.10.06
申请人 GOLD STAR ELECTRON CO LTD 发明人 YONGUUKIYUU HAN
分类号 H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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