发明名称 |
MANUFACTURE OF ELEMENT ISOLATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07161704(A) |
申请公布日期 |
1995.06.23 |
申请号 |
JP19940242949 |
申请日期 |
1994.10.06 |
申请人 |
GOLD STAR ELECTRON CO LTD |
发明人 |
YONGUUKIYUU HAN |
分类号 |
H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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