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发明名称 METHOD FOR GENERATING ELECTRON ACCELERATION TYPE SHEET PLASMA
摘要
申请公布号 JPH07161486(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930342165 申请日期 1993.12.02
申请人 URAMOTO JOSHIN 发明人 URAMOTO JOSHIN
分类号 H05H1/00;C23C14/34;C23C16/50;(IPC1-7):H05H1/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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