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发明名称 FORMATION OF POLYCRYSTALLINE FILM
摘要
申请公布号 JPH07161646(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930311821 申请日期 1993.12.13
申请人 NEC CORP 发明人 TEZUKA KAZUO
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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