发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH07161995(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930309328 申请日期 1993.12.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HIRABAYASHI HIDEAKI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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