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发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH07161666(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930311633 申请日期 1993.12.13
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 TANI TAKEHIKO;SAKAGUCHI HARUNORI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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