| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07161988(A) |
申请公布日期 |
1995.06.23 |
| 申请号 |
JP19930307729 |
申请日期 |
1993.12.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
SHIMIZU AKIHIRO;OYU SHIZUNORI;OOKI NAGATOSHI;ISHIDA HIROSHI;YAMANAKA TOSHIAKI;HASHIMOTO KOJI |
| 分类号 |
H01L29/43;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/43 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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