发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH07162019(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930311449 申请日期 1993.12.13
申请人 NAGANO KEIKI SEISAKUSHO LTD;RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 KANO HAJIME;NAGASAKA HIROSHI;OIZUMI MAKOTO
分类号 G01L1/22;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01L1/22
代理机构 代理人
主权项
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