发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE USING SOI SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07161947(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930304177 申请日期 1993.12.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IMAI MASAHIKO;HORIE HIROSHI;TANAKA TORU;SUZUKI KUNIHIRO;SUGII TOSHIHIRO
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12;H01L21/823 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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