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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0733973(U)
申请公布日期
1995.06.23
申请号
JP19930071417U
申请日期
1993.12.06
申请人
发明人
分类号
C23C14/50;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):C23C14/50
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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