| 发明名称 |
CLEANING DEVICE AND PROBER EQUIPPED THEREWITH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07161784(A) |
申请公布日期 |
1995.06.23 |
| 申请号 |
JP19930341383 |
申请日期 |
1993.12.10 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK |
发明人 |
YAMASHITA SATORU |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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