发明名称 MASS SPECTROMETRY METHOD IN FOCUSING ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07161331(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930307906 申请日期 1993.12.08
申请人 JEOL LTD 发明人 KOKUBO YASUSHI;DATE NAOKI
分类号 H01J37/256;(IPC1-7):H01J37/256 主分类号 H01J37/256
代理机构 代理人
主权项
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