发明名称 PIEZOELECTRIC ACCELERATION SENSOR
摘要
申请公布号 JPH07159434(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930304168 申请日期 1993.12.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 FUKUSONO HIDEKI;NISHIMURA HIROMI;KAJI NORIKIMI;TAKAMI HIROYUKI
分类号 G01P15/09;H01L29/84;H01L41/08;(IPC1-7):G01P15/09 主分类号 G01P15/09
代理机构 代理人
主权项
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