发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07161734(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930305675 申请日期 1993.12.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HISAKA TAKAYUKI
分类号 H01L21/265;H01L21/324;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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