| 发明名称 |
WAFER HEATER AND ELECTRODE PART MEMBER FOR HEATER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07161725(A) |
申请公布日期 |
1995.06.23 |
| 申请号 |
JP19930305635 |
申请日期 |
1993.12.06 |
| 申请人 |
SUMITOMO OSAKA CEMENT CO LTD |
发明人 |
OGAWA TAKESHI;MORIOKA TARO;KURATA EIJI;INOUE KATSURO;KOSAKAI MAMORU |
| 分类号 |
H05B3/20;H01L21/324;H05B3/03;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H05B3/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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