发明名称 METHOD OF FLATTENING THICK FILM RESIST
摘要
申请公布号 JPH07161721(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930340429 申请日期 1993.12.08
申请人 SONY CORP 发明人 ITOU MUTSUSADA;NAKAMURA TOSHIFUMI
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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