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发明名称 WET ETCHING END POINT DETECTING METHOD AND WET ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07161683(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930340592 申请日期 1993.12.07
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 YOKOYAMA SHIGERU
分类号 C23F1/08;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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