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发明名称
ETCHING CONTROL METHOD OF SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号
JPH07161682(A)
申请公布日期
1995.06.23
申请号
JP19930339683
申请日期
1993.12.06
申请人
FUJIKURA LTD
发明人
SEKIGUCHI TOSHISADA
分类号
H01L21/306;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/306;H01S3/18
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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