| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR CLEANING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07161673(A) |
申请公布日期 |
1995.06.23 |
| 申请号 |
JP19930340634 |
申请日期 |
1993.12.08 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON F II KK |
发明人 |
TERAMOTO MASASHI |
| 分类号 |
B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
