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发明名称 FLOW RATE CONTROL METHOD
摘要
申请公布号 JPH07160338(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930339737 申请日期 1993.12.06
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 KAZAMA YOICHIRO
分类号 F16K31/02;G05B7/02;G05B11/36;G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06 主分类号 F16K31/02
代理机构 代理人
主权项
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