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发明名称 Regenerierungsverfahren für einen Plasmainitiator.
摘要
申请公布号 DE69019495(D1) 申请公布日期 1995.06.22
申请号 DE19906019495 申请日期 1990.12.20
申请人 EXXON RESEARCH AND ENGINEERING CO., FLORHAM PARK, N.J., US 发明人 MURPHY, WILLIAM JOHN, BRIGHTS GROVE, ONTARIO, NON 1C0, CA
分类号 H05H1/00;B01J19/00;B01J19/08;B01J19/12;C23F4/00;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):B01J19/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
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