发明名称 Druckregler und Ventilbetätigungsvorrichtung.
摘要
申请公布号 DE69014252(T2) 申请公布日期 1995.06.22
申请号 DE19906014252T 申请日期 1990.07.20
申请人 SVG LITHOGRAPHY SYSTEMS, INC., WILTON, CONN., US 发明人 NUSSER, HEINZ, BROOKFIELD, CONNECTICUT 06804, US
分类号 F16K31/08;G05D16/20;H01F7/08;(IPC1-7):F16K31/08 主分类号 F16K31/08
代理机构 代理人
主权项
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