Verfahren zum elektrischen Kontaktieren von porösem Silizium,申请号DE19934342527-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum elektrischen Kontaktieren von porösem Silizium
摘要
申请公布号	DE4342527(A1)	申请公布日期	1995.06.22
申请号	DE19934342527	申请日期	1993.12.15
申请人	FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH, 52428 JUELICH, DE	发明人	MARSO, MICHEL, DR., 52428 JUELICH, DE;MUENDER, HERBERT, DR., 50129 BERGHEIM, DE;THOENISSEN, MARKUS, 41334 NETTETAL, DE;BERGER, MICHAEL, 53343 WACHTBERG, DE;LUETH, HANS, PROF., 52076 AACHEN, DE
分类号	H01L21/283;H01L29/45;H01L33/34;H01L33/38;H01L33/40;(IPC1-7):H01L21/60	主分类号	H01L21/283
代理机构		代理人
主权项
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