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发明名称 Adapter für integrierte Schaltkreiselemente und Verfahren unter Verwendung des Adapters zur Prüfung von zusammengebauten Elementen.
摘要
申请公布号 DE69019436(D1) 申请公布日期 1995.06.22
申请号 DE19906019436 申请日期 1990.07.20
申请人 NIPPON STEEL CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SAITO, TAMIO, C/O NIPPON STEEL CORPORATION, TOKYO, JP;YAMAMOTO, TOSHIO, C/O NIPPON STEEL CORPORATIO, TOKYO, JP;OHIKATA, NAOHARU, C/O NIPPON STEEL CORPORATION, TOKYO, JP;ONO, JIRO, C/O NIPPON STEEL CORPORATION, TOKYO, JP
分类号 G01R1/073;G01R31/28;G01R31/3185;G01R31/319;(IPC1-7):G01R1/073;H01L21/66;H01L23/498 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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