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发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Kontaktes/VIA.
摘要
申请公布号 DE68920025(T2) 申请公布日期 1995.06.22
申请号 DE19896020025T 申请日期 1989.03.24
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. (N.D.GES.DES STAATES DELAWARE), CARROLLTON, TEX., US 发明人 LIOU, FU-TAI, F-75116 PARIS, FR;MILLER, ROBERT OTIS, F-75116 PARIS, FR;FARAHANI, MOHAMMED M., F-75116 PARIS, FR;HAN, YU-PIN, F-75116 PARIS, FR
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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