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发明名称 Gasreibungsvakuummeter mit um eine ortsfeste Rotationsachse rotierendem Gasreibungssensor
摘要
申请公布号 DE4343575(A1) 申请公布日期 1995.06.22
申请号 DE19934343575 申请日期 1993.12.21
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH, 52428 JUELICH, DE;RWD-DATENTECHNIK GMBH, 52078 AACHEN, DE 发明人 LINDENAU, BERND, 52428 JUELICH, DE;FREMEREY, JOHAN K., DR., 53129 BONN, DE;WITTHAUER, KLAUS, 52076 AACHEN, DE
分类号 G01L21/16;G01L21/24;(IPC1-7):G01L21/24 主分类号 G01L21/16
代理机构 代理人
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