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经营范围
发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DüNNSCHICHTOXYDSUPRALEITERS.
摘要
申请公布号
DE68922734(D1)
申请公布日期
1995.06.22
申请号
DE1989622734
申请日期
1989.03.15
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
NODA, ETSUO, KANAGAWA-KEN 251, JP;SUZUKI, SETSUO 22-3-2-203, YAYOIDAI IZUMI-K, KANAGAWA-KEN 245, JP;MORIMIYA, OSAMI, OHTA-KU TOKYO 146, JP;HAYASHI, KAZUO, OHTA-KU TOKYO 143, JP
分类号
C23C14/00;C23C14/08;C23C16/40;H01L39/24;(IPC1-7):C01B13/14;C01G3/00;C23C14/24;H01B13/00
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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