发明名称 Vakuum-Bearbeitungsreaktor.
摘要
申请公布号 DE68921234(T2) 申请公布日期 1995.06.22
申请号 DE19896021234T 申请日期 1989.04.25
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 CHENG, DAVID, SAN JOSE, CAL. 95128, US;MAYDAN, DAN, LOS ALTOS HILLS, CAL. 94022, US;SOMEKH, SASSON, LOS ALTOS HILLS, CAL. 94065, US;STALDER, KENNETH R., REDWOOD CITY, CAL. 94062, US;ANDREWS, DANA L., MOUNTAIN VIEW, CAL. 94043, US;CHANG, MEI, CUPERTINO, CAL. 95014, US;WHITE, JOHN M., HAYWARD, CAL. 94541, US;WONG, JERRY YUEN KUI, FREMONT, CAL. 94539, US;ZEITLIN, VLADIMIR J., SANTA CLARA, CAL. 95051, US;WANG, DAVID NIN-KOU, CUPERTINO, CAL. 95014, US
分类号 H05H1/46;B01J3/02;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;C23F4/00 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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