发明名称 Gerät zur Bearbeitung mittels Mikrowellen in einem magnetischen Feld.
摘要
申请公布号 DE69017271(T2) 申请公布日期 1995.06.22
申请号 DE19906017271 申请日期 1990.06.12
申请人 SEL SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD., ATSUGI, KANAGAWA, JP 发明人 YAMAZAKI, SHUNPEI, SETAGAYA-KU, TOKYO, JP;HIROSE, NAOKI, SHIMONOSEKI-SHI, YAMAGUCHI-KEN, 750, JP;KADONO, MASAYA, ATSUGI-SHI, KANAGAWA-KEN 243, JP;ISHIDA, NORIYA, ASHIKAWA-SHI, HOKKAIDO, 078, JP;ITO, KENJI, ZAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, 228, JP;TAKAYAMA, TORU, ATSUGI-SHI, KANAGAWA-KEN, 243, JP;ARAI, YASUYUKI, ATSUGI-SHI, KANAGAWA-KEN, 243, JP
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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