发明名称 |
Waterborne photoresists having associate thickeners |
摘要 |
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申请公布号 |
AU660392(B1) |
申请公布日期 |
1995.06.22 |
申请号 |
AU19940071547 |
申请日期 |
1994.08.29 |
申请人 |
MORTON INTERNATIONAL, INC. |
发明人 |
ROBERT K. BARR |
分类号 |
G03F7/004;C09D4/00;C09D4/02;C09D4/06;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/031;G03F7/033;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/18;H05K3/28;(IPC1-7):G03F7/031 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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