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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion der Linienbreiten einer gedruckten Schaltung.
摘要
申请公布号 DE69109825(D1) 申请公布日期 1995.06.22
申请号 DE19916009825 申请日期 1991.11.07
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD., KYOTO, JP 发明人 KANAI, TAKAO, C/O DAINIPPON SCREEN MFG.CO.,LTD., HORIKAWA-DORI, KAMIKYO-KU, KYOTO, JP;SEZAKI, YOSHINORI, C/O DAINIPPON SCREEN MFG.CO,LTD, HORIKAWA-DORI, KAMIKYO-KU, KYOTO, JP;ATSUTA, MITOSHI, C/O DAINIPPON SCREEN MFG.CO,LTD., HORIKAWA-DORI, KAMIKYO-KU, KYOTO, JP
分类号 G01B11/02;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G06T1/00;H05K3/00;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
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