发明名称 | 去胶剂组合物 | ||
摘要 | 本发明涉及一种去胶剂组合物,包括重量百分比10—20%的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠和80—90%的下列有机溶剂之一或其任意比例的组合:苯乙酮,松油醇,苯甲醇,月桂醇;还可加入脂肪醇聚氧乙烯醚硅烷和去离子水,以降低去胶剂组合物的沸点;本发明去胶剂可有效的去除固体表面环化橡胶系列负性光刻胶,去胶工艺简单成品率高。 | ||
申请公布号 | CN1103964A | 申请公布日期 | 1995.06.21 |
申请号 | CN94110786.8 | 申请日期 | 1994.09.14 |
申请人 | 山东大学 | 发明人 | 曹宝成;计峰;马洪磊;罗升旭 |
分类号 | G03F7/42;C23G5/032 | 主分类号 | G03F7/42 |
代理机构 | 山东大学专利事务所 | 代理人 | 孙君 |
主权项 | 1、去胶剂组合物,其特征在于,包括重量百分比10-20%的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠和80-90%的下列有机溶剂之一或其任意比例的组合:苯乙酮,松油醇,苯甲醇,月桂醇。 | ||
地址 | 250100山东省济南市山大南路27号 |