发明名称 去胶剂组合物
摘要 本发明涉及一种去胶剂组合物,包括重量百分比10—20%的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠和80—90%的下列有机溶剂之一或其任意比例的组合:苯乙酮,松油醇,苯甲醇,月桂醇;还可加入脂肪醇聚氧乙烯醚硅烷和去离子水,以降低去胶剂组合物的沸点;本发明去胶剂可有效的去除固体表面环化橡胶系列负性光刻胶,去胶工艺简单成品率高。
申请公布号 CN1103964A 申请公布日期 1995.06.21
申请号 CN94110786.8 申请日期 1994.09.14
申请人 山东大学 发明人 曹宝成;计峰;马洪磊;罗升旭
分类号 G03F7/42;C23G5/032 主分类号 G03F7/42
代理机构 山东大学专利事务所 代理人 孙君
主权项 1、去胶剂组合物,其特征在于,包括重量百分比10-20%的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠和80-90%的下列有机溶剂之一或其任意比例的组合:苯乙酮,松油醇,苯甲醇,月桂醇。
地址 250100山东省济南市山大南路27号