| 发明名称 |
Method of forming coatings containing amorphous silicon carbide. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0392703(B1) |
申请公布日期 |
1995.06.21 |
| 申请号 |
EP19900303378 |
申请日期 |
1990.03.29 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORPORATION |
发明人 |
SHARP, KENNETH GEORGE;TARHAY, LEO |
| 分类号 |
C01B31/36;C23C16/32;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/314;(IPC1-7):C23C16/32;C23C16/50;C23C14/06 |
主分类号 |
C01B31/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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