| 发明名称 |
Electronically controlled cryopump. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0553935(B1) |
申请公布日期 |
1995.06.21 |
| 申请号 |
EP19930200539 |
申请日期 |
1989.09.12 |
| 申请人 |
HELIX TECHNOLOGY CORPORATION |
发明人 |
GAUDET, PETER W |
| 分类号 |
F04B49/06;F04B37/08;F04B37/16;F04D19/04;F04D27/00;(IPC1-7):F04B37/08 |
主分类号 |
F04B49/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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