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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0758687(B2) 申请公布日期 1995.06.21
申请号 JP19860004469 申请日期 1986.01.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;C30B23/08;H01L21/26;H01L21/302;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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